因此在光刻机上的研发，迫在眉睫。

之前做出22nm的光刻机，已经足够让人兴奋的了。

虽然国外的技术超前，但是他们同样不得不在3nm的光刻机面前低头。

3nm是光刻机的最小工艺极限，或者说是euv光刻机的最小工艺极限。

最根本的原因来自于纳米光子工艺极限性，即使有多种技术来操纵光，euv光刻机的波长极限就是13.5nm。

并且半导体的主要材料是硅，然而硅原子直径大约是0.12nm。

10个硅原子排成一列的程度大约为1.2nm，所以想再突破3nm的光刻机，那就涉及到了操纵原子的境界。

或者再重新找到合适的波长，对于euv光刻机，3nm是目前的最大极限。

所以即使国外能造出5nm的光刻机，对于3nm的光刻机也无从下手。

这也是华国最好赶超的时候，大家都做不出来，那就等我们一点一点赶上来。

没想到就在今天，华国直接一跃从22nm飞到令国外头疼的3nm。

这如何不让人激动！

在他们测试的时候，已经有一队兵哥将研究室围的密不透风，一只苍蝇都别想飞出去。

路过的研究员看到这个场面一惊，这是发生什么事了？

之前22nm光刻机项目成功的时候也没有这种阵仗啊。

他们光电所最近也没听说有什么大项目啊？

有的人仔细回想，东拼西凑你一句我一句，终于想起这个研究室是林曦月他们项目。

意识到什么，众人的脸色微变，看向那个被围的里三层外三层的研究室，心里有了一个大胆的想法。

难道林院士他们的项目有进展了？

但是不管他们怎么好奇，却是连那个研究室都不敢靠近。

大家都是有经验的老人，这个时候凑上去不是等着被怀疑吗。

研究室里，罗甘跟徐院士还在爱不释手的摸着光刻机。

“不愧是3nm的光刻机，看着就是不一样啊...”

林曦月笑着摇摇头，也没有去打扰他们，开始跟严谨等人整理数据。

因为光刻机涉及到的零件实在太多，他们都是边研究边整理资料。

现在关于它内部的资料跟各种数据指标叠起来都有三十米高。

也幸好他们是边研究边整理资料，不然这些资料全部堆积在一起，有够他们磨的。

等罗甘他们稀罕够了，才舍得从光刻机身上离家。

“林院士？那咱们下一步...”

他双眼亮晶晶的看着林曦月问道，没等林曦月回答又接着说道：“是不是考虑生产的问题？”

一旁的徐院士同样点点头说道：“虽说光刻机出世，但是距离生产还有一段距离，这也是个大问题啊。”

光刻机的麻烦不仅在他的构造上，还有它的构造复杂所带来的生产方面的麻烦。

很多零件都需要十分高的精确度，在生产方面比较难，毕竟生产的机器就是一个问题。

所以在没有办法完成量产的情况之下，每一个零件都需要工程师去磨，那样子耗费太高。

林曦月放下手中的资料，朝他们招招手，带他们走到研究室更里面一点。

一进到里面，满墙的资料映入眼帘。

严谨跟曹育华两人不用林曦月指示，直接上手将相关资料放在桌面上让他们看。

徐院士一看到那一叠资料封面上的几个大字，像是明白了什么似的难以置信的看向林曦月。

她竟然将生产光刻机所需要的机器也设计出来了？

罗甘低头看向那叠资料，低声念道：“准分子激光器？”

林曦月笑着点点头，“嗯，这是准分子激光器的生产资料，光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源，并且对于光源的波长也有所要求，这是准分子激光器的生产资料，能够生产出适合3nm光刻机的光源。”

徐院士震惊的翻着那堆资料，里面还真的是完整且相当详细的生产资料。

“你...将光刻机的生产机器都列出来了？”

这不仅是列出来了，还直接研究出来了，相当于直接把饭喂到嘴里，就问你吃不吃吧？

林曦月笑着摇摇头，光刻机的零件那么多，她怎么可能全部都研究一边。

“咱们也有光刻机的相关附属项目，我查了，那些项目有很多都是对光刻机的零件进行研究，所以有的零件我并没有列出来，只需要假意改装就可以。”

“那镜头你是怎么解决的？”

光刻机的镜片相当重要，高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力。

何国那台最顶尖的光刻机里的镜头，是由光学领域在全球范围内最领先的z公司供应。

华国在镜头方面的技术相对来说比较落后，这也是一个比较难以攻克的点。